技术详细介绍
项目是中国工程物理研究院于2008年3月批准的外协研究项目。主要研究内容是研制一套高精密检测设备，实现在线装校状态下，对任意角度放置在模块内的大口径光学组件进行面形检测，以检测其装配形变量，并用于模块应用质量的评估。
成果技术特点：
（1）大口径光学组件面形的在线检测。克服了干涉仪、哈特曼检测仪等难以实施在线检测和成本高等问题。
（2）高精度的系统检测方法。基于角差法原理，系统测量PV精度<λ/3，重复精度PV<λ/10（λ=632.8nm）。
（3）光学组件背面反射光斑自动剔除技术。实现了测量过程中光学组件背面反射光斑的剔除功能，克服了干涉仪等设备检测时需在被测光学组件背面涂抹吸光材料问题。