一种基于二维声光偏转器的激光扫描装置
本发明公开了一种基于二维声光偏转器的激光扫描装置。它包括由正交放置的X向声光偏转器和Y向声光偏转器构成的二维声光偏转器,在二维声光偏转器之前或之后倾斜β度设置有顶角为A的三角棱镜,三角棱镜与二维声光偏转器之间设置有第一反射镜和第二反射镜,使激光导入二维声光偏转器的第一通光孔。在声光偏转器对激光进行二维扫描时,既补偿了二维声光偏转器对超短脉冲光的空间色散,同时也补偿了二维声光偏转器的时间色散。这一装置结构紧凑、易于调节,适用于多光子激发扫描测量与成像,激光微加工等领域,特别适用于需要光斑在多个感兴趣的区域随机跳跃扫描的情况。
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