技术详细介绍
一种微型三维自扫描共焦显微镜
本发明公开了一种微型三维自扫描共焦显微镜。双梳状直线扫描器由动子和二个作为定子的X向直线驱动器和Z向直线驱动器组成，第二微透镜位于动子上；点式光源发出的光经过第一微透镜后，成为准直激光束；准直激光束透过微光学分束镜，经过微扫描反射镜反射后，由第二微透镜聚焦于样本；反射光或荧光沿原光路依次经过第二微透镜和微扫描反射镜反射后，返回到微光学分束镜，被微光学分束镜反射的光经过第三微透镜和针孔，照射到微型光探测器；控制装置用于数据采集和处理，并控制双梳状直线扫描器在X、Y方向的焦点直线扫描。本发明具有体积小、结构简单、稳定性好、动态特性的频率响应高和直接三维立体自扫描测量的特点。