技术详细介绍
一种无衍射光空间直线度基准的发生装置
无衍射光空间直线度基准的发生装置，包括依次位于同一光路上的激光器、光学调整器和无衍射光发生器，光学调整器光学调整器必须保证光束的发散条件：理论比值ω(R)/ω0≥10，如小焦距透镜或由焦距大于-100mm的透镜组和精密位置调整器构成。上述无衍射光发生器可以为锥镜、环缝与透镜组件、计算机全息片或二元光学组件。本发明可在激光器与光学调整器之间设有扩束镜和空间滤波器。本发明将无衍射光理论和技术应用于直线度误差测量技术，很好地解决了现有中、长距离直线度误差测量因直线度基准误差大而产生的精度低的难题，并且具有结构简单、制造简便、成本低廉和稳定性好等优点。