技术详细介绍
本实用新型公开了一种基于MEMS的智能服装,可用于采集心电、心音等人体生理参数,该智能服装的功能是通过将柔性传感器阵列薄膜与纺织品整合的方式来实 现的:首先,在晶圆上采用MEMS技术分别制作出声/电换能器及其电气互联结构。其次,在晶圆的反面刻蚀出硅岛图形,使得每个传感器之间相互孤立。再次, 在晶圆的正反面旋涂上聚合物,并对其进行光刻图形化出传感器窗口以及缝纫孔,即得到柔性传感器阵列薄膜。聚合物起到对传感器的保护作用,缝纫孔可用于让导 电纤维将传感器传感器阵列薄膜与纺织品缝合于一体,即得到有特定功能的智能服装。本实用新型采用MEMS制作工艺,重复性好,可靠性高,可大批量制造,成 本较低,具有广泛的应用前景。