[00141409]一种双光栅位移传感器
交易价格：
面议
所属行业：
光学仪器
类型：
实用新型专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：200620163346.4
交易方式：
技术转让
联系人：
华中科技大学
进入空间
所在地：湖北武汉市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本实用新型公开了一种双光栅位移传感器,它包括位移单元、位移导向单元和信号处理电路,以及位于同一光路上的激光器、双光栅单元和光电接收器;双光栅单元由动光栅和定光栅构成,定光栅与动光栅的栅线和栅平面分别平行,动光栅固定在位移单元上,位移单元与位移导向单元组成直线运动副,其运动方向垂直于栅线且平行于栅平面;激光器发出的激光束入射至双光栅单元发生双光栅干涉,光电接收器用于接受产生的干涉条纹,并将产生的电信号传送给信号处理电路。本装置可以获得比单光栅位移传感器更好的干涉条纹特征和条纹电压信号,适合采取更高的细分达到更高的分辨率。只要动光栅移动过程中一致性好,应能实现相当大的位移范围。其测量范围可达20MM,分辨力达到约0.01UM。
本实用新型公开了一种双光栅位移传感器,它包括位移单元、位移导向单元和信号处理电路,以及位于同一光路上的激光器、双光栅单元和光电接收器;双光栅单元由动光栅和定光栅构成,定光栅与动光栅的栅线和栅平面分别平行,动光栅固定在位移单元上,位移单元与位移导向单元组成直线运动副,其运动方向垂直于栅线且平行于栅平面;激光器发出的激光束入射至双光栅单元发生双光栅干涉,光电接收器用于接受产生的干涉条纹,并将产生的电信号传送给信号处理电路。本装置可以获得比单光栅位移传感器更好的干涉条纹特征和条纹电压信号,适合采取更高的细分达到更高的分辨率。只要动光栅移动过程中一致性好,应能实现相当大的位移范围。其测量范围可达20MM,分辨力达到约0.01UM。
