技术详细介绍
一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置
本发明公开了一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置,在调整平台上设置有环境加载装置,其结构为:压电陶瓷可调节式安装于支架内,支承板固定在支架上;加热板固定在支承板上,支架固定在真空腔体上,真空腔体上设置有透光片;被测器件位于环境加载装置上。本发明采用光路转折、聚焦透镜平移使得测量装置结构紧凑,便于调整;利用环境加载装置对振动、温度、和压力进行精确控制,使得测量装置能测量不同环境条件下的微机电系统动态特性。测量装置所采用的微视觉、相移干涉、频闪照明和环境加载可以完成不同环境条件下的微机电系统器件或圆片的三维高分辨率测量、静动态参数提取。