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[00141386]一种纳米压印机

交易价格： 面议

所属行业： 光学仪器

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：201310507352.1

交易方式： 技术转让

联系人：华中科技大学

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所在地：湖北武汉市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

　　一种纳米压印机

　　本发明公开了一种纳米压印机，包括真空腔（2）、安装在真空腔（2）内底部的高压仓（7）、高压仓（7）上依次设有调平装置（6）、加热盘（5）和载物台（4），载物台（4）上端还设有承压板（3）。本发明提供的纳米压印机充分利用高压仓内的压力气体保证压印模板压入平衡、均匀；通过调平装置可以保证压印模板和压印基板的平整性；本发明结构简单、成本低，适合推广应用。?

[00141386]一种纳米压印机

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