技术详细介绍
本发明公开了一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成,二者位于同一平面内,桥腿的一端与桥面相连,另一端架在金属桥墩上,桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上,桥面与衬底之间构成空腔;氧化钒薄膜制备在桥面之上,电极位于金属桥墩上,且与氧化钒薄膜相连。本发明采用微桥结构,不仅可以降低光开关的热容值,提高开关速度,而且通过改变微桥结构参数,还可以进一步调整光开关与衬底间的热导值。本发明为全固态器件,避免了MOMES光开关中的移动部件,提高了光开关的可靠性。本发明有利于研制高速或者低功耗的光开关阵列。