[00994881]新型电子清洗剂DZ-4与清洗工艺

一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：新型电子清洗剂DZ-4及清洗工艺主要用于清洗半导体硅片上的黑蜡、松香和石蜡混合物。传统的半导体清洗工艺通常使用苯、甲苯、三氯乙烯、二氯甲烷等有机溶剂清洗黑蜡以及松香和石蜡混合物，它们毒性大、污染环境、危害操作人员的健康。研制成功的新型电子清洗剂DZ-4及清洗工艺经清华大学电力电子厂、国营8070厂和上海新玻电子有限公司等单位应用证明：清洗效果与传统清洗工艺相当，且具有操作简单、成本低廉、无毒、无腐蚀性的特性，对人体无危害、对环境无污染，经济效益、社会效益显著。该成果达到90年代国际领先水平。其关键技术为新型电于清洗剂DZ-4的配方和复配技术。主要经济技术指标为DZ-4A：pH值为8.5-9.5、粘度1-2MPa.s、有害杂质含量＜10ppm、活性剂含量＞15％；Dz-4B：pH值9.0-10、粘度40-160MPa.s，有害杂质含量＜10ppm、活性剂含量＞30％。DZ-4对黑蜡、松香和石蜡混合物的清洗效果与传统工艺相当、半导体器件和集成电路的参数与传统工艺相当，在10-+50℃性能稳定。二、经济、社会、环境效益及推广应用前景：除生产电子清洗剂DZ-4具有显著的经济效益外，使用DZ-4的用户用也可节支30％以上，经济效益显著。该工艺无毒无腐蚀性，对人体元危害，对环境无污染，社会效益、环境效益也很显著，有着良好的推广应用前景。三、成果转化的可行性DZ-4作为新型电子清洗剂DZ-1、DZ-2的配套产品，在研制期间已开始转化为生产力，随着DZ-1、DZ-2的推广，DZ-4很快占领国内市场是可行的。