[00948316]合成波干涉纳米表面三维在线测量系统及方法
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合成波干涉纳米表面三维在线测量系统及方法,量程决定于合成波长,共路干涉结构。利用双周期光栅的双色散特性将谱宽40nm光束色散成两个波长在空间连续均匀分布的扇形光片,经准直成两个横向错位并部分重叠的下行光片,重叠部分形成合成波。合成波下行光片经过下面镀半透半反膜的甲柱聚焦透镜,一半光强被反射作为参考光,另一半光强被聚焦成光线,由不同被测点反射,与参考光干涉后由线阵CCD探测。测出CCD每个像素干涉信号相位变化量,即测出对应被测点纵向变化值。一次定位完成表面二维测量;光线横向扫描完成表面三维测量。测量速度高,成本低。测量量程600~1000um,分辨率优于5nm,适用于具有凸台和深槽的纳米表面测量。
合成波干涉纳米表面三维在线测量系统及方法,量程决定于合成波长,共路干涉结构。利用双周期光栅的双色散特性将谱宽40nm光束色散成两个波长在空间连续均匀分布的扇形光片,经准直成两个横向错位并部分重叠的下行光片,重叠部分形成合成波。合成波下行光片经过下面镀半透半反膜的甲柱聚焦透镜,一半光强被反射作为参考光,另一半光强被聚焦成光线,由不同被测点反射,与参考光干涉后由线阵CCD探测。测出CCD每个像素干涉信号相位变化量,即测出对应被测点纵向变化值。一次定位完成表面二维测量;光线横向扫描完成表面三维测量。测量速度高,成本低。测量量程600~1000um,分辨率优于5nm,适用于具有凸台和深槽的纳米表面测量。