[00941587]纳米线冷阴极场发射显示器

FED是在研的几种平板显示器中的一种，也是唯一能够保持传统阴极射线管显示器(Cathode Ray Tube Display，简称CRT)高显示质量的新型平面显示技术。其主要优点包括颜色自然逼真、发光效率高、响应速度快、温度范围宽广、功耗低、制造工艺简单，投资少，成本低廉。在家用电视机、电脑显示器、车用显示器、工业监视器、医疗仪器设备、军事、航天等领域有重要应用前景。特别是FED具有比现有的平板显示技术更高的抗恶劣环境的能力，在军事、航天等方面有重要的应用前景。针尖型冷阴极的FED制作成本昂贵，而采用纳米线冷阴极，具有制备方法简便、电学性质可控等优点。该技术成果采用自组织生长纳米线冷阴极结合微加工薄膜工艺制作高分辨率的FED，在纳米冷阴极可控生长及其栅极微结构集成、纳米冷阴极FED器件封装等关键技术取得突破。掌握了从材料、器件结构、制作工艺到驱动技术的完整的知识产权体系，自主建立起纳米冷阴极FED的整套工艺线及其工岂。该技术成果在大面积玻璃衬底上实现了高精细定位生长纳米冷阴极；研制出可用于高分辨率FED的栅极结构纳米冷阴极电子源阵列；开发出了纳米线冷阴极FED器件的真空封装技术；建立起纳米冷阴极FED工艺流程；研制出栅极结构纳米冷阴极FED样机。国际上还未有报道采用纳米线冷阴极的高分辨率高亮度的FED器件，该技术成果为纳米冷阴极FED的进一步的研发和推向产业化打下重要的基础。