[00931093]led用2-7英寸蓝宝石衬底晶圆及其专用设备的工业性试验
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技术详细介绍
该项目提出2-7英寸蓝宝石衬底晶圆及其专用设备的工业性试验研究，旨在针对蓝宝石晶体及制品的低成本、高效生产加工技术，研制工业化生产设备，为项目的进一步产业化提供技术、装备保障，以满足市场需求，为相关行业的发展提供保障。采用该项目工艺方法制备的蓝宝石单晶体，尺寸可达Φ×200mm以上，可加工成2-7英寸LED用衬底晶圆。其专用设备长时间连续工作稳定性好，功率控制精度可达万分之一瓦，提拉精度可达0.1μm。利用晶体材料加工的晶圆在可见光范围内透过率大于80%，光学不均匀性小于3%。晶体材料加工成晶圆的综合利用率大于30%。工艺过程中，原材料利用率大于97%。