[00907882]原子力探针测头微三维测量系统
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技术详细介绍
该项成果主要用于解决目前微机械零件、惯性器件的微小尺寸、微硅加速度计加工尺寸、微薄膜厚度、刀具微三维轮廓的高精度几何形状测量，为中国微电子、微机械以及为国防微纳米器件的制造提供可靠的检测手段。该项目利用原子力探针准接触原理研制了原子力探针测头，利用螺旋型压电驱动、柔性导轨以及电容传感器反馈系统组成了微三维坐标测量系统，其技术指标为：微定位系统：沿X、Y、Z方向的测量范围分别为±200μm、±100μm、±100μm，三个方向的驱动分异力4μm，驱动范围±200μm；原子力测头：垂直方向重复性小于±10nm、原子排斥力10<'-5>-10<'-7>N；总体指标：三维方向测量范围0.2×0.1×0.1mm，分异力4nm，测量系统综合测量精度±40nm。该系统已用于金刚石刀具、刀口锋利度的检测及传感器镀膜生产检测方面。