[00844497]多晶硅象素电极与简化流程的SOP-AMOLED基板
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技术详细介绍
该课题将薄膜多晶硅OLED的阳极技术用于AMOLED中，其薄膜多晶硅像素电极与多晶硅TFT的有源层为同一层材料，像素电极即是驱动多晶硅 TFT漏极的 延伸。采用该项技术，制备的有源驱动基板可去掉ITO的溅射成膜过程和像素电极的加工过程，以及ITO与金属电极的接触孔的加工过程共 三道工序。形成MASK简化流程的AMOLED基板制备工艺。与PMOS多晶硅电路技术相结合，还可制备成全集成型OLED有源驱动基板。