[00839046]一种嵌入式耦合光学环形腔器件
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技术详细介绍
本发明的嵌入式耦合光学环形腔器件，包括衬底隔离层、环形腔光波导和耦合光波导，耦合光波导和环形腔光波导共用衬底隔离层，在环形腔光波导与耦合光波导的耦合区域内环形腔光波导嵌入于耦合光波导之中。由于耦合光波导和环形腔光波导共用衬底隔离层，简化了器件在高度方向的膜层结构，仅需衬底隔离层、环形腔光波导芯层和耦合光波导芯层。其制作工艺比传统的“垂直耦合”环形腔器件更为简便。可实现弯曲半径很小的环形腔，同时可提高与光纤的耦合效率，即可实现低损耗。通过改变耦合光波导、环形腔光波导参数可实现耦合系数的大范围调节，从而实现不同器件性能以满足不同需求。200710071287.7