[00813934]双频双坐标激光测量系统的研制

双频双坐标激光测量系统是为亚微米超精密机床测控系统研制的，测量系统全部采用国产元件，系统组成包括由双频激光器、光学元件、光电接收器组成的一次信号处理系统；数据采集及处理的专用微机系统；用于修正波长变化的空气参数补偿系统和GPIB数据通讯并行接口等四部分。该在线测量系统可随时测量主轴的Z向位和刀 架Y向位移，输出可直接读出Z、X向的位移值，也可反馈给机床的精密数控系统，组成双坐 标闭环精密数控系统。该测量系统中有空气参数补偿系统可以减小温度、湿度、气压的测量误差，提高测量精度；该测量系统可以在较高的速度(300mm/s)下进行测量，能满足机床运动测量的要求，该系统经与HP5528比对，双向测量差值均≤0.7μm/200mm，测量稳定性在2小时内≤0.1μ，如采用质量较高的进口的激光头，测量精度还可提高。该测量系统的测量 精度和美国HP公司的同类产品相当。应用领域：该测量系统虽是为亚微米超精密机床研制，但又是一套通用的多路精密位移测量系统，可用于其它精密位移工作台或三坐标测量机等。