[00809232]等离子体离子注入与沉积复合表面改性技术
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技术详细介绍
该课题组研究的等离子体离子注入与沉积技术综合了目前流行的多种等离子体表面改性技术的特点，将磁控溅射离子镀、多弧离子镀、等离子体离子注入、等离子体化学热处理、高压脉冲辉光放电薄膜沉积等结合在一起而形成的一种新型等离子体基表面改性技术。该技术可以根据工件对表面性能的要求，在不破坏真空的情况下单独或同时进行离子镀、离子注入或离子注入混合与沉积。该技术可以对复杂结构零件、精密零件、传动件、精密工模具等进行批量处理，获得满足表面工程技术要求的耐磨、耐蚀、减摩或梯度表面改性层。