[00008786]超净高纯双氧水生产技术与装置
交易价格:
面议
所属行业:
化工生产
类型:
非专利
技术成熟度:
正在研发
交易方式:
技术转让
联系人:
华东理工大学
进入空间
所在地:上海上海市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
技术投资分析:
该项目开发的技术可广泛应用于微电子化工材料分离与纯化,尤其是超大规模集成电路(0.09~0.2μm技术)用超纯电子化学品。
超净高纯双氧水作为电子工业硅片清洗剂、印刷电路板的刻蚀剂,是电子工业不可缺少的精细化学品。目前,国内集成电路生产的电子级双氧水无论质量和数量都不能满足电子工业的需要,主要依赖进口。
技术的应用领域前景分析:
该项目实验室成果2003年12月22日已通过上海市科学技术委员会鉴定(科学技术成果登记号:9312004Y0262))。
在国家“863”项目和上海市科学技术发展基金项目研究的基础上,已建立一套年产500吨中试装置,其产品质量达到SEMIC12双氧水的标准,金属离子浓度<0.1ppb,非金属离子浓度<100ppb,颗粒>0.5?m 25Pcs/mL。技术水平达到国际先进水平。
效益分析:
本技术市场应用范围广,成本低,利润高,效益可观。
厂房条件建议:
无
备注:
无
技术投资分析:
该项目开发的技术可广泛应用于微电子化工材料分离与纯化,尤其是超大规模集成电路(0.09~0.2μm技术)用超纯电子化学品。
超净高纯双氧水作为电子工业硅片清洗剂、印刷电路板的刻蚀剂,是电子工业不可缺少的精细化学品。目前,国内集成电路生产的电子级双氧水无论质量和数量都不能满足电子工业的需要,主要依赖进口。
技术的应用领域前景分析:
该项目实验室成果2003年12月22日已通过上海市科学技术委员会鉴定(科学技术成果登记号:9312004Y0262))。
在国家“863”项目和上海市科学技术发展基金项目研究的基础上,已建立一套年产500吨中试装置,其产品质量达到SEMIC12双氧水的标准,金属离子浓度<0.1ppb,非金属离子浓度<100ppb,颗粒>0.5?m 25Pcs/mL。技术水平达到国际先进水平。
效益分析:
本技术市场应用范围广,成本低,利润高,效益可观。
厂房条件建议:
无
备注:
无