[00795511]静电驱动的焦点可变微平面镜及其制造方法
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技术详细介绍
一种光学器件技术领域的静电驱动的焦点可变微平面镜及其制造方法。本发明平面镜包括：底座、底座上固定的环形电极、Si基板、可动电极和微平面镜镜面，环形电极与可动电极通过Si-Au共晶合金键合并形成一个为可动电极提供形变空间的气隙，可动电极与Si基板相连，当固定的环形电极和可动电极之间施加电压时，产生的法向静电力驱动可动电极向下面的环形电极方向运动形成一个凹面，微平面镜镜面设置在可动电极上。
制造方法为：
① 平面镜部分的制作工艺；
② 底座部分的制作工艺；
③ 环形电极与可动电极的Si-Au共晶合金键合。
本发明只需通过改变施加的外加电压的大小就可快速准确的调节微平面镜焦点，比以往的微平面镜结构更简单，更容易阵列化和变焦控制。