[00780965]惯性器件非连续圆柱形状超精密测量仪

该项目主要用于解决惯性器件加工中的超精密测量问题，重点解决动压马达非连续圆柱形状、位置和尺寸误差的非接触超精密测量问题。哈工大超精密光电仪器工程研究所在完成“九五”航天重点预研项目“非接触式超精密圆柱度测量仪”的基础上，建立新的仪器原理，突破多项关键技术，完成了“惯性器件非连续圆柱形状超精密测量仪”。该项目完成的重大技术创新和进步点如下：1.基于最佳整体平均效应的气体支承回转基准技术，使径向回转运动精度优于(11十0.15H)mm；2.基于误差自分离和功能复合的整体式回转运动基准技术，解决了现有圆柱度测量仪不能进行逐截面空间误差分离的难题，使空间回转基准精度水平提高一个数量级；3.自身参照法误差分离技术及系统，解决了基准间误差难以发现和难以分离的难题，可完全消除基准间位置误差，使空间运动基准精度提高一个数量级以上；4.组合式激光监测补偿和无扰驱动式直线运动基准，可补偿系统运动误差和随机运动误差，使直线运动精度显著提高，分别达到28nm/50mm，40nm/100mm，52nm/200mm；5.差动共焦扫描探针式位移传感技术，可对非连续圆柱轮廓形状、位置及尺度进行非接触超精密测量，传感器位移分辨力达1纳米。已达到的主要技术指标如下：1.仪器回转基准径向误差＜(11+0.15H)nm；2.仪器直线运动基准运动误差＜30nm/50mm；3.仪器测量不确定度＜66nm/50mm。经济社会效益分析：1.中国惯性仪器设计、研制和生产单位几十家，约需超精密圆柱形状测量仪50台左右，每台以160-200万元计，可创效益8000万元至1亿元；2.若将该仪器开发成通用精密型和超精密型仪器，可推广到民用精密机械制造业。以每年需求百台计(经统计，每年进口100台以上)平均每台以100万元计，每年可创效益1亿元：3.该仪器重点解决动压马达的转子体和转子轴非连续圆柱形状、螺旋沟槽位置误差和槽形、槽深的超精密非接触式测量这一十分紧迫的技术难题；4.该仪器还可作为系列惯性器件的动压转子体、转子轴、气浮支承器件的超精密测量问题。5.该仪器的通用型具备军工领域通用性特点，是具有对中国军工特点有很强针对性的超精型形状测量仪器；6.由国家技术监督局全国工程参量技术委员会推荐，该项目将在中国各省市、国家各专业部门计量检定单位和校准实验室推广，以建立不同等级的基标准仪器。投资条件：具体协商。