[00727924]一种电致发光器件工艺中制备背电极的新技术

制备电致发光器件，都必须考虑背电极这个重要环节。传统的方法是掩膜法，既利用事先光刻好的模板挡住或漏过欲蒸发的导电材料(比如铝、银或金等)。电极的形状与模板的光刻图样相同。但是，由于机械和模板材料的局限性，电极的条纹不能做得太细，分辨率不能太高。无法满足搞清析度的要求。因而，出现了用光刻的办法在导电(ITO)玻璃上预制隔离墙的技术。但是，该技术要求有质量优良(价格昂贵)的光刻机和无尘的环境以及其他苛刻条件等。而该发明技术，既克服了掩膜法粗糙(分辨率太低)的缺陷，又解决了光刻成本过高、工艺烦琐等问题。这将是电致发光器件背电极制作的最有效技术。一定会对薄膜电致发光矩阵屏的发展起到推动作用。当课题组走进21世纪的信息时代，薄膜电致发光矩阵屏，尤其是有机发光二极管(OLED)作为平板显示家族的一员越来越倍受关注。人们无论是聚集开会还是单独在家，都离不开信息的交流。而作为信息传播的终端出口-显示屏，是人人都离不开的必备工具。如今，仅仅有机电致发光显示器的研究和开发，国际上就有接近上百家的知名大公司进行投入。仅亚洲就有二十几家(中国有四家之多)。因此，这项电致发光器件工艺中制备背电极新技术的发明，必将对OLED的发展起到推动作用。也会对信息显示领域的这块市场的其他技术产生冲击力。