[00670901]用MOCVD技术研制硅薄膜太阳电池的ZnO/Al复合背反射电极
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技术详细介绍
要将MOCVD技术制备的ZnO薄膜用于大尺寸的（20cm×20cm）硅基薄膜太阳电池，解决大面积薄膜均匀性是问题关键之一，存在流体力学问题、温度均匀性问题、化学问题等。该项目首次在国内采用MOCVD方法研制ZnO/Al复合背反射电极；首次将MOCVD方法研制的ZnO薄膜用于大面积（20cm×20cm）非晶硅太阳电池的ZnO/Al复合背反射电极。解决了其它制备技术对电池造成损伤的问题，使电池性能得到显著提高，达到国际先进水平。