[00635219]KZ-ELPS·1椭偏应用软件
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技术详细介绍
椭偏法测薄膜的技术在半导体、光学、冶金领域有广泛的应用，由于测量值的分析和数据处理相当繁复，因此它的应用受到相当多的限制。该校研制的ＫＥ－ＥＬＰＳ·１为椭偏分析的专用软件，可以对任意衬底上透明薄膜的折射率和厚度进行分析，不仅省去了查到线图表的麻烦，而且不受到线图表的限制。该软件在精度方面与美国ＧＡＥＲ ＴＮＥＲ７１１２－２椭偏程序相当，但速度要快一倍，在Ａｐｐｌｅ－Ⅱ机上通常只需１５秒钟。应用该软件直观、方便、数据可靠、实用性强、搜索范围大。转让该软件的费用为５００元，而美国同类型软件的费用为８３３美元。