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[00621744]超精密甚多轴运动控制技术

交易价格： 面议

所属行业： 控制系统

类型： 非专利

技术成熟度： 通过中试

交易方式： 合作开发其他

联系人：哈尔滨工业大学

所在地：黑龙江哈尔滨市

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技术详细介绍

该项目。针对高端装备中的甚多轴的高动态协同问题，形成了以多自由度解耦、冗余驱动、学习补偿、多执行器跨尺度协同控制等方法为核心的超精密甚多轴运动控制技术，该技术成功应用于02国家重大专项光刻机和专用光刻机，突破了我国在高端装备领域面临的运动控制技术瓶颈。