[00338041]一种驻极体薄膜制备方法及驻极体薄膜
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技术详细介绍
本发明实施例公开了一种驻极体薄膜制备方法及驻极体薄膜，该方法包括：根据预设程序切割掩膜版，得到带有目标图案的掩膜版；将预设尺寸的衬底固定在喷胶机的加热板之上；将带有目标图案的掩膜版固定在预设尺寸的衬底之上；将预设重量的驻极体材料溶于预设体积的溶剂中，充分搅拌后得到配置好的驻极体溶液；将配置好的驻极体溶液倒入喷胶机的液体压力罐中；在液体喷管周围设置多个气体管道，多个气体管道通过气体压力阀连接气体压力泵；启动喷胶机，同时打开气体压力阀和液体压力阀，以使驻极体溶液均匀分布在衬底表面，得到包含气泡的目标驻极体薄膜。实施本发明实施例，可以提高驻极体薄膜的存储电荷能力。