[00333281]一种基于光学反馈的平面气浮工作台及控制方法
                
                    
                        交易价格:
                        
                            面议
                        
                    
                    
                        所属行业:
                                                
                            其他机械
                        
                        
                    
                    
                        类型:
                        发明专利
                    
                    
                    
                        技术成熟度:
                        通过小试
                    
                    
                    
                    专利所属地:中国 
                    专利号:CN201710321351.6
                    
                    
                        交易方式:
                                                资料待完善
                        
                    
                    
                 
                
                    
                    
                    
                        联系人:
                                                                        厦门立德软件公司
                        
                        
                    
                    
                    
                    
                        
                        
                            进入空间
                        
                    
                    
                    
                    所在地:
                    
                    
                        - 服务承诺
 
                        - 产权明晰
 
                        - 
                            资料保密
                            
 对所交付的所有资料进行保密 
                         
                        - 如实描述
 
                        
                    
                 
             
            
            
         
        
            
                
技术详细介绍
            
            本发明公开了一种基于光学反馈的平面气浮工作台,包括下面板、上面板、用于驱动上面板的电磁式驱动单元、用于悬浮上面板的气浮单元、用于定位的红外传感器组、以及用于引导和定位上面板运动的控制单元;本发明首先通过气浮轴承在上面板底部产生气体刚膜,使上面板悬浮在空中并能自由移动;然后根据设定的运动轨迹分时驱动横向线圈和纵向线圈工作,使上面板快速横向或纵向蠕动;最后位于5个方位上的红外收发器分别向上面板反射不同波长的红外线,并通过接收反射回来的红外图像数据确定上面板的实时位置,从而确定横向和纵向驱动器的驱动时间,提高平台的相应速度和定位精度。本发明结构简单、体积小、承载能力较强而且定位精度高、运行平稳可靠。
            
                本发明公开了一种基于光学反馈的平面气浮工作台,包括下面板、上面板、用于驱动上面板的电磁式驱动单元、用于悬浮上面板的气浮单元、用于定位的红外传感器组、以及用于引导和定位上面板运动的控制单元;本发明首先通过气浮轴承在上面板底部产生气体刚膜,使上面板悬浮在空中并能自由移动;然后根据设定的运动轨迹分时驱动横向线圈和纵向线圈工作,使上面板快速横向或纵向蠕动;最后位于5个方位上的红外收发器分别向上面板反射不同波长的红外线,并通过接收反射回来的红外图像数据确定上面板的实时位置,从而确定横向和纵向驱动器的驱动时间,提高平台的相应速度和定位精度。本发明结构简单、体积小、承载能力较强而且定位精度高、运行平稳可靠。