[00329802]背入射式TiO2紫外光探测器及其制备方法
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所在地：吉林长春市
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技术详细介绍
采用自组装技术在石英玻璃衬底上定向生长出适于大面积、阵列化紫外探测器和紫外成像系统用的具有完好结晶度的TiO2薄膜，成功制备了光伏型ＴiO2紫外探测器。器件响应度达198A/W, 5V偏压下暗电流为15nA 。在此基础上研制光伏型背入射式MSM平面结构TiO2紫外线强度测试仪。
宽禁带半导体紫外探测器是现代传感器的重要分支，在天文、国防、燃烧工程、汽车尾气检测、导弹尾焰探测、紫外告警以及生物医药等方面都有着广泛的应用前景，并已成为光电探测领域的研究热点之一。由于宽禁带半导体TiO2材料价格低廉，本身具有非常好的耐候性、物理和化学稳定性、适宜的光电特性，以其作为基体材料来研究新型紫外探测器，可以解决目前宽禁带半导体紫外探测器研究中存在的问题，因而具有重要意义。