[00327807]低成本制备高效硅薄膜太阳电池关键技术研发
联系人：赵颖
所在地：天津天津市
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技术详细介绍
项目简介：
南开大学1978年在国内率先开展非晶硅材料及其电池的研究，该技术获得天津市技术发明二等奖。自“六五”至“九五”期间，连续4个五年国家科技攻关计划，获科技部重点攻关和天津市科委的支持，经过20余年潜心研发，硅基薄膜太阳电池性能跻身世界先进行列。于2003实现非晶硅电池产业化。
2000年始，在国内率先开展新一代硅薄膜电池的研究。2007年，该成果实现技术转移生产。
2009年，研制成功我国首套基于自主专利技术的、衬底面积0.79m2、线列式5室连续VHF-PECVD系统及相应中试生产线及其组件制造技术。成为国际上为数不多可开展大面积新一代硅基薄膜太阳电池研究的单位。
2011年，开发出年产能2兆瓦、具有自主知识产权的、我国首条年产能2兆瓦的非晶硅/非晶硅锗/微晶硅叠层电池生产线及其组件生产技术。生产出的太阳电池组件效率达9.59%，将新一代硅薄膜电池技术推向产业化。
图1：年产能2兆瓦的非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结叠层薄膜太阳电池生产线的核心PECVD设备