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[00315406]一种白光干涉仪Z轴宏微精密调焦装置及其调焦方法

交易价格： 面议

所属行业： 检测仪器

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610903674.1

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：厦门立德软件公司

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技术详细介绍

本发明公开了一种白光干涉仪Z轴宏微精密调焦装置，包括直线导轨、刚性框架、核心运动工作平台、柔性铰链、传感器、直线驱动器和光栅尺；如此设置，本发明公开的白光干涉仪Z轴宏微精密调焦装置，其能够有效实现大范围运动同时保证精密进给，并通过宏微复合测量获得精密运动平台在经过调焦后的精确位移读数；本发明还公开了一种用于上述白光干涉仪Z轴宏微精密调焦装置的调焦方法。

[00315406]一种白光干涉仪Z轴宏微精密调焦装置及其调焦方法

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