技术详细介绍
本发明公开了一种基于直线电机的运动同步精度检测装置，它至少包括被测同步运动模块、直线电机传动模块、检测模块、控制模块组成；
所述被测同步运动模块至少包括第一工作台(1)、第二工作台(1′)组成；
所述直线电机传动模块至少包括第一直线电机(2)、第二直线电机(2′)组成；
所述检测模块至少包括第一位移传感器(3)组成；
所述控制模块至少包括控制装置(4)组成；
所述检测模块还可以包括第二、第三位移传感器。
本发明设计的一种基于直线电机的运动同步精度检测装置，该装置可以直接检测多个直线电机的运动同步精度，可以避免目前通过分别测量同步轴运动的位置信息进行间接计算同步轴的运动同步误差而造成的计算误差。