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[00303600]具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法

交易价格： 面议

所属行业： 化工生产

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510344609.5

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：桂林电子科技大学

所在地：广西壮族自治区桂林市

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技术详细介绍

本发明公开了一种具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的制备方法高温烧制获得微米级粉体，加入纳米级粉体、碎颗粒、氢氧化物浆料中的一种或者多种混合，再加入粘接剂压制成型，高温烧结后得到蒸镀靶材。

本发明通过构建具有三维骨架网络的结构，实现对低密度蒸发材料的结构强化，所制备的氧化锌蒸镀材料具有较高的强度，抗热冲击性能好，彻底解决高能电子束轰击时开裂的问题。