本发明公开了一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,属于离子渗金属辅助阴极技术领域。
一种双辉渗金属源极辅助阴极筒,包括呈筒身和基座,所述筒身设置在基座上端;所述筒身上设有呈圆周阵列的锥形小孔,所述锥形小孔较大一端位于筒身外侧;所述基座为中空结构,且基座和筒身之间隔有底盘;所述底盘上位于筒身一侧设有凹槽,且围绕该凹槽还设有若干的通孔。
本发明提供能够防止源极熔融而造成的装置报废,保证渗金属均匀和实现多元、多物理形态的双辉渗金属。
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