本发明公开一种扩散炉气体浓度及扩散方式的自动控制装置,该装置包括顺序连接的压力控制部分、流量控制部分、气体扩散方式控制部分。
在PLC控制器的控制下,实现将紊乱的涡流气体变成缓和的平流气体。
本发明通过对气体浓度、扩散方式及压力的控制为反应提供了更加良好的环境,精确控制反应所需的气体浓度,减少原流量对反应的影响,稳定的气体环境充分提高了扩散方阻的均匀性,提高质量的成品率,更加符合目前产品要求。
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