本实用新型公开了一种长程表面等离子激元波导耦合器,其特征是,包括顺序叠接的第一SiO2层、Ag层和第二SiO2层,所述第一SiO2层和第二SiO2层对称设置在Ag层的两面。
这种耦合器能使入射光突破衍射极限,高效耦合进硅基光子器件中,能提高光纤与硅基光子器件之间的耦合效率,而且此种长程表面等离子激元波导耦合器结构简单,对于工艺要求低,易于加工,成本较低。
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