本发明为一种通过静电驱动进行调节的太赫兹带通滤波器,硅基底有通孔,其上为二维阵列,太赫兹波从二维阵列上方进入,穿过二维阵列得到滤波,从通孔射出。
矩形可动框架套在二维阵列外,框架左右连接静电梳齿驱动器的活动梳齿,阵列中同一行的U形结构或胖T形结构连接框架内侧,框架前后端连接折叠弹簧。
直流电压驱动静电梳齿驱动器工作,带动可动框架移动,U形结构和胖T形结构发生相对运动,以改变它们的间距,调节控制本带通滤波器的透过率和中心频率,从而显著提高了太赫兹带通滤波器的性能,并拓展其应用范围。
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