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[00301155]双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置

交易价格： 面议

所属行业： 检测仪器

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610311972.1

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：哈尔滨工业大学

进入空间

所在地：黑龙江哈尔滨市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，直线音圈电机作为驱动元件，气浮导轨作为导向元件，直线光栅尺作为反馈元件进行大行程、精定位。利用四个电容位移传感器补偿位移传递机构运动的俯仰与偏航误差；本发明可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。

[00301155]双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置

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