[00301145]四光轴回位及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置
交易价格：
面议
所属行业：
检测仪器
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201310475593.2
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
哈尔滨工业大学
进入空间
所在地：黑龙江哈尔滨市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：四光轴回位及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更接近；微动装置根据四个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，使目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
摘要：四光轴回位及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更接近；微动装置根据四个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，使目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
