[00301003]超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法
交易价格：
面议
所属行业：
光学仪器
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN200510076827.1
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
哈尔滨工业大学
进入空间
所在地：黑龙江哈尔滨市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法，该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅，实现回转轴与直写光轴的对准，所述方法包括以下步骤：把测量范围划分成精确测量区和定位测量区，并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围；借助差动像散离焦检测装置的检焦功能，使光斑处于准焦状态；产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号；根据对准偏离量测量信号，使直写光轴进入所述定位测量区；测量对准偏离量，借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区；再次测量对准偏离量，并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。
摘要：本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法，该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅，实现回转轴与直写光轴的对准，所述方法包括以下步骤：把测量范围划分成精确测量区和定位测量区，并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围；借助差动像散离焦检测装置的检焦功能，使光斑处于准焦状态；产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号；根据对准偏离量测量信号，使直写光轴进入所述定位测量区；测量对准偏离量，借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区；再次测量对准偏离量，并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。
