[00285389]一种大行程柱坐标双光子聚合加工方法及装置
交易价格:
面议
所属行业:
铸造/热处理
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201410258805.6
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
吉林大学
进入空间
所在地:吉林长春市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:本发明涉及一种大行程柱坐标双光子聚合加工方法及装置,属于微纳制造技术领域。将试件以共轴或离轴方式安装在一个C轴转台上,C轴转台绕z轴作回转运动,使飞秒激光束相对于试件作周向运动,C轴安装在x轴溜板上沿x向作直线进给运动,使飞秒激光束相对于试件作径向运动,通过二维振镜绕x和y轴的摆动,使飞秒激光束沿C轴转台之径向作快速往复摆动,通过z轴溜板沿z向的平动,获得飞秒激光束聚焦中心沿z向的进给运动,当试件以离轴方式安装,可实时改变C轴转台的转速,以使飞秒激光束在每个预期的扫描位置获得大小相同的速度。本发明所述方法及装置避免了运动轴回退、可快速精密跟踪有扰动的路径,实现大面积三维微纳结构的快速加工。
摘要:本发明涉及一种大行程柱坐标双光子聚合加工方法及装置,属于微纳制造技术领域。将试件以共轴或离轴方式安装在一个C轴转台上,C轴转台绕z轴作回转运动,使飞秒激光束相对于试件作周向运动,C轴安装在x轴溜板上沿x向作直线进给运动,使飞秒激光束相对于试件作径向运动,通过二维振镜绕x和y轴的摆动,使飞秒激光束沿C轴转台之径向作快速往复摆动,通过z轴溜板沿z向的平动,获得飞秒激光束聚焦中心沿z向的进给运动,当试件以离轴方式安装,可实时改变C轴转台的转速,以使飞秒激光束在每个预期的扫描位置获得大小相同的速度。本发明所述方法及装置避免了运动轴回退、可快速精密跟踪有扰动的路径,实现大面积三维微纳结构的快速加工。