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[00284769]一种大功率SiC衬底垂直结构发光管及其制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201010555083.2

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 吉林大学

进入空间

所在地:吉林长春市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明属于半导体发光器件及其制备技术领域,特别是涉及一类GaN基发光管及其制备方法。器件由衬底、衬底上外延生长的n型GaN缓冲层和下限制层2、GaN材料系多量子阱发光层3、p型GaN上限制层4、p型InGaN盖层5、上电极6、下电极7构成,特征在于:衬底是n型SiC单晶衬底,其80%~95%面积的衬底面即出光面被打毛粗化或图形化,电极7被制备在其余5%~20%面积的衬底1上,上电极6全部覆盖在盖层5上面,并制备成兼有反射镜功能。本发明利用SiC衬底晶格和GaN匹配较好,导电和导热性能都比较好,价格适中的优点,提供一种新型大功率SiC衬底垂直结构发光管及其制备方法。
摘要:本发明属于半导体发光器件及其制备技术领域,特别是涉及一类GaN基发光管及其制备方法。器件由衬底、衬底上外延生长的n型GaN缓冲层和下限制层2、GaN材料系多量子阱发光层3、p型GaN上限制层4、p型InGaN盖层5、上电极6、下电极7构成,特征在于:衬底是n型SiC单晶衬底,其80%~95%面积的衬底面即出光面被打毛粗化或图形化,电极7被制备在其余5%~20%面积的衬底1上,上电极6全部覆盖在盖层5上面,并制备成兼有反射镜功能。本发明利用SiC衬底晶格和GaN匹配较好,导电和导热性能都比较好,价格适中的优点,提供一种新型大功率SiC衬底垂直结构发光管及其制备方法。

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