[00284213]一种提高铁电薄膜抗击穿能力的方法
交易价格：
面议
所属行业：
其他电气自动化
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201610343918.5
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
济南大学
进入空间
所在地：山东济南市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种提高铁电薄膜抗击穿能力的方法，该方法是以金属铝片作为铁电薄膜的电极，或者以表面覆有一层铝膜的其他材质作为铁电薄膜的电极，对铁电薄膜的电极进行预处理后再在预处理的电极上生长铁电薄膜；所述铁电薄膜的电极在气体保护、300‑480℃下进行预处理。本发明首次提出通过电极的选择提高铁电薄膜抗击穿能力的思路，并提供了可行的电极。所得铁电薄膜具有很强的抗击穿能力，漏电流很低，能测到薄膜的真实铁电性能，在未来铁电薄膜的制备过程和器件应用中都具有良好的前景。
摘要：本发明公开了一种提高铁电薄膜抗击穿能力的方法，该方法是以金属铝片作为铁电薄膜的电极，或者以表面覆有一层铝膜的其他材质作为铁电薄膜的电极，对铁电薄膜的电极进行预处理后再在预处理的电极上生长铁电薄膜；所述铁电薄膜的电极在气体保护、300‑480℃下进行预处理。本发明首次提出通过电极的选择提高铁电薄膜抗击穿能力的思路，并提供了可行的电极。所得铁电薄膜具有很强的抗击穿能力，漏电流很低，能测到薄膜的真实铁电性能，在未来铁电薄膜的制备过程和器件应用中都具有良好的前景。
