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[00279511]一种ITO管状靶材的制备方法

交易价格： 面议

所属行业： 纳米及超细材料

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201710025297.0

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：昆明理工大学

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所在地：云南昆明市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开一种ITO管状靶材的制备方法，以ITO纳米粉末为原料，利用旋转模具和超声波振动装置对制备好的ITO浆料进行脱水及成型，得到ITO靶材素坯，将该素坯在低温下进行脱脂处理，然后将脱脂素坯在一定的烧结条件下烧结得到ITO管状靶材；其优点在于工艺更容易进行自动化生产，降低了劳动强度和劳动力成本，所制备的ITO旋转靶材产品组织结构均匀、稳定，致密度高，能够满足下游企业的应用要求，具有良好的市场前景。

[00279511]一种ITO管状靶材的制备方法

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