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[00274761]一种Ⅲ族氮化物外延晶体及其生长方法

交易价格： 面议

所属行业： 其他电气自动化

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510377450.7

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：南京大学

所在地：江苏南京市

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技术详细介绍

本发明公开了一种III族氮化物外延晶体及其生长方法，自下而上依次包含衬底，第一III族氮化物外延层，石墨烯，图形化掩膜层，第二III族氮化物外延层。本发明的一种III族氮化物外延晶体具有低应力，低缺陷密度等优点，且其制备工艺可控，适于工业化生产。