[00265447]工模具表面复合氮化物涂层制备工艺
交易价格:
面议
所属行业:
纳米及超细材料
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201710305268.X
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
四川大学
进入空间
所在地:四川成都市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种工模具表面复合氮化物涂层制备工艺,属于微纳米涂层技术领域,该工艺是在镀膜时,采用了真空离子蒸发镀与磁控溅射离子镀相结合的二元蒸发源技术;在N2与Ar的混合气氛下,通过电子束蒸发源蒸发Ti元素,形成传统的TiN薄膜,在沉积形成TiN膜的同时,通过磁控溅射源植入Me元素,在工模具表面镀制(Ti,Me)N层;所述Me为Ti、Al、Cr、Si中的至少一种。本发明工艺能够提高工模具的综合性能。
本发明公开了一种工模具表面复合氮化物涂层制备工艺,属于微纳米涂层技术领域,该工艺是在镀膜时,采用了真空离子蒸发镀与磁控溅射离子镀相结合的二元蒸发源技术;在N2与Ar的混合气氛下,通过电子束蒸发源蒸发Ti元素,形成传统的TiN薄膜,在沉积形成TiN膜的同时,通过磁控溅射源植入Me元素,在工模具表面镀制(Ti,Me)N层;所述Me为Ti、Al、Cr、Si中的至少一种。本发明工艺能够提高工模具的综合性能。