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[00265447]工模具表面复合氮化物涂层制备工艺

交易价格: 面议

所属行业: 纳米及超细材料

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201710305268.X

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 四川大学

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所在地:四川成都市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍

本发明公开了一种工模具表面复合氮化物涂层制备工艺,属于微纳米涂层技术领域,该工艺是在镀膜时,采用了真空离子蒸发镀与磁控溅射离子镀相结合的二元蒸发源技术;在N2与Ar的混合气氛下,通过电子束蒸发源蒸发Ti元素,形成传统的TiN薄膜,在沉积形成TiN膜的同时,通过磁控溅射源植入Me元素,在工模具表面镀制(Ti,Me)N层;所述Me为Ti、Al、Cr、Si中的至少一种。本发明工艺能够提高工模具的综合性能。
本发明公开了一种工模具表面复合氮化物涂层制备工艺,属于微纳米涂层技术领域,该工艺是在镀膜时,采用了真空离子蒸发镀与磁控溅射离子镀相结合的二元蒸发源技术;在N2与Ar的混合气氛下,通过电子束蒸发源蒸发Ti元素,形成传统的TiN薄膜,在沉积形成TiN膜的同时,通过磁控溅射源植入Me元素,在工模具表面镀制(Ti,Me)N层;所述Me为Ti、Al、Cr、Si中的至少一种。本发明工艺能够提高工模具的综合性能。

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