[00259358]一种金纳米孔薄膜三电极电离式二氧化硫传感器
交易价格：
面议
所属行业：
检测仪器
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201610629330.6
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
西安交通大学
进入空间
所在地：陕西西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种金纳米孔薄膜三电极电离式二氧化硫传感器，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着采用蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的阴极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；小透气孔的孔径设定后；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和深槽的边长、深度设定。该金纳米孔薄膜电离式二氧化硫传感器通过电流检测二氧化硫浓度，与现有技术相比其工作电压小，收集极电流大，灵敏度高，可检测六氟化硫背景气体中的二氧化硫。
本发明公开了一种金纳米孔薄膜三电极电离式二氧化硫传感器，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着采用蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的阴极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；小透气孔的孔径设定后；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和深槽的边长、深度设定。该金纳米孔薄膜电离式二氧化硫传感器通过电流检测二氧化硫浓度，与现有技术相比其工作电压小，收集极电流大，灵敏度高，可检测六氟化硫背景气体中的二氧化硫。
