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[00253349]一种用于氮化碳薄膜制备的化学吸附方法

交易价格： 面议

所属行业： 合成化学

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201010560898.X

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：科小易

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所在地：福建厦门市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明涉及氮化碳的制备技术，具体涉及一种用于氮化碳薄膜制备的化学吸附方法，包括如下步骤：在原子层沉积腔室中，通入气相前驱体，形成一种具有未成键电子的物质，与衬底表面原子形成共价键，实现化学吸附；通入与衬底表面发生取代反应的气体，形成所需的sp3杂化的氮碳单键结构。本发明应用于原子层沉积技术制备氮化碳薄膜，使用该方法形成的结构能够利用每一层间的相互作用，实现结构上的一致性、单晶性。

[00253349]一种用于氮化碳薄膜制备的化学吸附方法

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