技术详细介绍
本发明公开了一种纳米切深高速单点划擦试验装置及其试验方法。
所述纳米切深高速单点划擦试验装置包括工作台、气浮转台、试件夹具、试件、Z向进给装置、纳米运动平台、力传感器和划擦工具，所述试件的待划擦位置制有长度、高度可控的微凸结构。本发明在划擦速度方面从μm/s提升至m/s，真实地还原了超精密磨削过程中磨粒的加工速度。本发明在高速划擦条件下准确采集不同纳米切深条件下的划擦力信号，划擦力划擦深度对应关系明确。本发明在试件表面构造微凸结构，避免了金刚石针尖在整个晶圆表面留下很长划痕，在较短划痕内提供了丰富的试验数据，极大地提高了单位划擦长度内有效信息的含量，纳米切深高速单点划擦试验装置有利于后续的划痕分析和残留划痕的特征识别，保证了划擦工具的完整性。
所述纳米切深高速单点划擦试验装置包括工作台、气浮转台、试件夹具、试件、Z向进给装置、纳米运动平台、力传感器和划擦工具，所述试件的待划擦位置制有长度、高度可控的微凸结构。本发明在划擦速度方面从μm/s提升至m/s，真实地还原了超精密磨削过程中磨粒的加工速度。本发明在高速划擦条件下准确采集不同纳米切深条件下的划擦力信号，划擦力划擦深度对应关系明确。本发明在试件表面构造微凸结构，避免了金刚石针尖在整个晶圆表面留下很长划痕，在较短划痕内提供了丰富的试验数据，极大地提高了单位划擦长度内有效信息的含量，纳米切深高速单点划擦试验装置有利于后续的划痕分析和残留划痕的特征识别，保证了划擦工具的完整性。