[00249921]一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
金属材料
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201310331388.9
交易方式:
技术转让
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技术入股
联系人:
科小易
进入空间
所在地:福建厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明提供了一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法,本发明首先将铝盐和粘结剂溶解于溶剂中,然后加入锌盐粉末,搅拌烘干后得到混合粉末,将混合粉末依次进行压制成型和烧结,制备得到铝掺杂氧化锌靶材,本发明制备方法简单,生产成本低,适合产业化发展,制得的铝掺杂氧化锌靶材品质较高。
本发明提供了一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法,本发明首先将铝盐和粘结剂溶解于溶剂中,然后加入锌盐粉末,搅拌烘干后得到混合粉末,将混合粉末依次进行压制成型和烧结,制备得到铝掺杂氧化锌靶材,本发明制备方法简单,生产成本低,适合产业化发展,制得的铝掺杂氧化锌靶材品质较高。