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[00235884]高透射率的钒基多层超晶格薄膜及其制备方法

交易价格： 面议

所属行业： 其他

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201210127760.X

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：四川钒钛产业技术研究院

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所在地：四川攀枝花市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明涉及高透射率的钒基多层超晶格薄膜及其制备方法，属于薄膜材料领域。所述的超晶格薄膜是在基片上交替沉积VO 2 薄膜上和金属氧化物薄膜。本发明与现有技术相比，其显著优点为：（1）操作简单，工艺时间短，便于控制，适宜于工业化生产；（2）生长的薄膜厚度能精确控制；（3）生长的薄膜表面平整，分布均匀；（4）生长的薄膜透射率高，能更好的应用于智能窗、光储存、光电开光等领域。

[00235884]高透射率的钒基多层超晶格薄膜及其制备方法

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